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傳感器測試技術(shù)基礎(chǔ)問答

壓電傳感器已經(jīng)證明在快速的和周期性的過程測試是非常成功的,。應(yīng)力,、壓力、或加速度感測器作產(chǎn)品品質(zhì)保證被廣泛地應(yīng)用於生產(chǎn)過程中,。特別是在生產(chǎn)汽車和電子工業(yè),。壓電傳感器可以在工廠里對長時間的動態(tài)的過程進(jìn)行可靠的測試,，并且確保產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)品質(zhì)量證明文檔需要經(jīng)常地進(jìn)行測試。

同其他傳感器比壓電傳感器的優(yōu)點：

．壽命長

．高靈敏度

．低臨界值(Low threshold)

．寬測試范圍

．實用的位移測試

．測試頻率高

．溫度適用范圍寬

在工業(yè)中使用壓電傳感器的例子：

．射出機模穴內(nèi)壓測試

．對柴油和汽油發(fā)動機的氣缸進(jìn)行壓力監(jiān)視

．壓力監(jiān)視和控制

．監(jiān)視自動組裝機械連接頭的應(yīng)力

．振動機械監(jiān)視

．機械加工的過程監(jiān)視

壓電傳感器

壓電傳感器由壓電材料和封裝材料組成,?！皦弘姟钡囊馑际钱?dāng)對負(fù)載施加一個力時，傳感器將會產(chǎn)生同施加力成比例的電荷。天然石英晶體是非常理想的壓電材料,，但現(xiàn)在石英晶體可以在高溫高壓下進(jìn)行人工合成,。其他壓電材料也有不同的特殊應(yīng)用。石英晶體在傳感器內(nèi)不同的排列將會產(chǎn)生不同的效果,。這個效果可以通過石英晶體的不同切型來獲得,。

a)橫向效應(yīng) (Transversal effect)

石英晶體電荷輸出在壓力接觸表面合適的角度。電荷輸出同石英的幾何形狀和厚度有關(guān),。石英晶體是棒狀將會產(chǎn)生橫向振動,。適用公式的:   應(yīng)力和高靈敏壓力傳感器是通常使用橫向模式效應(yīng)。

b)縱向效應(yīng) (Longitudinal effect)

石英晶體電荷輸出在壓力接觸的表面,。與橫向模式效應(yīng)不同,，電荷產(chǎn)生不依靠石英的幾何形狀而只同施加的力有關(guān)。石英晶體通常是盤狀,，可以通過并連增加電荷的輸出,。公式: 

c)剪力模式效應(yīng) (Shear effect)

施加剪切力，電荷在力與接觸表面產(chǎn)生公式: 

由於縱向效應(yīng),，石英的幾何形狀不影響靈敏度,。剪力效應(yīng)應(yīng)用3種典型傳感器，力學(xué)傳感器,、力矩傳感器,、加速度傳感器。

用於壓電傳感器的放大器

工作原理小的電量電荷需要轉(zhuǎn)化電壓（5V或10V）或電流（4…20mA）進(jìn)行測試,，例如在PC 或 PLC中,。放大器通常用於測試技術(shù)，因放大器是將電荷轉(zhuǎn)換成電壓,。在原理上,，電荷放大器包括MOS或J-FET電晶體的高增益電壓放大器，它能在輸入獲得高絕緣阻抗,。放大器通過高絕緣電容連接到負(fù)反饋上,。因此,放大器可以作積分器用於輸入電荷。對於傳感器,，外加機械負(fù)載容易產(chǎn)生電荷變化,。在輸出端顯示壓電傳感器電荷改變的積分和正比于整個電荷的改變（包括機械負(fù)載產(chǎn)生的電荷）的電壓信號。

輸入Q和輸出Uout的關(guān)系

F 載入傳感器上的機械負(fù)載（如,，應(yīng)力）

Q 傳感器輸出的電荷（如,，4pC/N）

Cs 傳感器電容（如，50pF）

Ck 電纜電容（大約 100pF/m）

CB 電容器的電容范圍

Ri 輸入電路的絕緣電阻（傳感器,、電纜,、放大器輸入）

RG 用於時間常數(shù)電阻（低截止頻率）

RTP 低通輸入濾波器電阻

Vi 運行的放大器的增益因數(shù)（大約100,000）

Uin 放大器輸入端電壓

Uout 放大器輸出端電壓

Reset 短路范圍電容器的開關(guān)（放大器的調(diào)零）

由於放大器有狠大的增益電壓（V趨近於無窮）,傳感器和電纜的電容值可以忽略不記,所以輸出電壓值正比於電荷量同范圍電容的商: 

放大器在輸入端（Ri大小1014Ω）必須是高絕緣的,對於傳感器和電纜也必須是高絕緣,否則輸出端信號將產(chǎn)生偏差,。

偏差（drift）

已經(jīng)提到的，放大器輸入端是使用MOSFET獲得高阻抗,。即使當(dāng)前最好的MOSFET也要有幾個fA的輸入漏電流,。對於好的電荷放大器，也將引起±0.03pC/s漂移,。測試信號的漂移率： 

傳感器的靈敏度（E）＝pC/N

被測試的力（F）＝N

壓電信號的準(zhǔn)靜態(tài)測試的限制容易通過一個力學(xué)傳感器（靈敏度4pC/N）的實際例子確定,。力學(xué)傳感器使用測試范圍1000N,測試誤差每分鐘0.045%或22分鐘測試一次測試誤差不超過1％。范圍電容與偏差無關(guān),。然而,，靈敏度愈高，測試的應(yīng)力愈大,，由偏差引起的錯誤成分就越小,。

重置（Reset）

重置開關(guān)也是高絕緣的，能使輸出信號通過短路回路的電容重置成零,。在許多應(yīng)用中,，例如稱重，機器部件固有的重量在力的測試中應(yīng)不被包括在內(nèi),。在傳感器機械的卸載的每次測量周期之前重置功能被執(zhí)行,。重置時間大約5～100ms，因此它非常適合短周期的測試和監(jiān)視使用,。重置開關(guān)可以手動也可以通過外接數(shù)位信號操作,。半導(dǎo)體開關(guān)或彈簧片延遲被用於高阻重置開關(guān)。當(dāng)沒有電流時,通常開關(guān)是關(guān)閉的,，目的是防止靜電損壞高阻的輸入端,。

測試范圍（Measuring Range）

大部分電荷放大器有多個測試范圍。測試范圍的選擇是由開關(guān)電容CB決定的,。放大器輸出是10V的信號,，因此可以作寬靈敏度和寬測試范圍的傳感器單信號電荷放大器使用。電荷放大器的精度主要取決於電容CB的容限,。電荷放大器有非常好的±0.05FS的線性度,。當(dāng)校正整個測試鏈或調(diào)整放大器和傳感器時,，電荷放大器的錯誤可以忽略不記,。在規(guī)格限定內(nèi)，電荷放大器是有過載限定的,。過載參數(shù)由信號回轉(zhuǎn)率和電荷數(shù)量確定,。J-FET放大器在不適當(dāng)?shù)膫鞲衅鬟B接時比MOS-FET對靜電放電更加敏感，但其有相當(dāng)大的偏差和溫度依靠性,。

低通輸入濾波器（Low-Pass Input filter）

當(dāng)測試機械振動時,，由於振蕩產(chǎn)生了附加的力,。這些力或是沒有引起注意或是對監(jiān)控機器沒有表現(xiàn)出干擾。通過使用適當(dāng)?shù)牡屯ㄝ斎霝V波器,，這些干擾就能排除在外,。對於大部分的應(yīng)用，使用10到100Hz的濾波器就已經(jīng)足夠了,。濾波器在放大器的輸入端使用RC網(wǎng)路形式,。

C 電纜和傳感器的電容

RTP 低通濾波器的電阻

時間常數(shù)（高通濾波器）（Time constants( high pass filters））

時間常數(shù)象AC偶合器件一樣工作，在示波器上顯示同樣波形,。靜態(tài)信號部分被濾掉,，只留下動態(tài)信號。時間常數(shù)是由電阻RG和電容CB產(chǎn)生的,，絕緣阻抗被減小,。這樣做法就是提高測試速度。

在AC模式,，電荷放大器象高通濾波器一樣工作,。從電路中的電容和時間常數(shù)電阻計算低截止頻率。 

Lwer cut-off frequency （fu）=Hz

Time constant（t）=s

只有當(dāng)在快速過程中動態(tài)信號成份才被注意,，時間常數(shù)才被包括在電荷放大器中,。在每次迴圈之前重置是不需要使用時間常數(shù)測試。

工業(yè)電荷放大器對比實驗室電荷放大器

以下分別顯示工業(yè)和實驗室電荷放大器的一些重要特性,。

 應(yīng)用:

在前幾年,，Kistler發(fā)展在特殊電荷放大器的需求，主要強調(diào)的是適合工業(yè)應(yīng)用,。

小型化Hybird技術(shù)使實際的電荷放大器變的更小更緊湊,，他們能被非常近地裝在測試地點。直接放在機器上,，因此縮短了傳感器和放大器之間的距離,。Hybird技術(shù)也有安裝范圍。然而,，可變測試范圍通過積分電壓放大器的方法來調(diào)節(jié),。當(dāng)前最小的電荷放大器Type 5027（Fig.4）只有45mm×16mm，有3個測試范圍,。

介面的耐受性:

在工廠內(nèi),，電環(huán)境都不是狠好。由於不同的對地電勢和電磁場能夠干擾使測試的原始信號失真,。在一定的系統(tǒng)中（機械/測試鏈/電纜/環(huán)境）,，這些原因能夠被發(fā)現(xiàn)。然而,，由於其的狠好的抗干擾性,，在這樣的環(huán)境中電荷放大器可以被使用的,。基本上,，所有Kistler的電荷放大器和標(biāo)準(zhǔn)傳感器和電纜都符合電磁相容標(biāo)準(zhǔn)EN 50081-1/2 和 EN 50082-1/2.同樣符合安全標(biāo)準(zhǔn)EN 61010-1.而且,，新型放大器 5034使用完全的電氣隔離。這意味著電源對地電勢和測試信號的輸入輸出被光耦合器分開,，所以不會互相干擾,。

外接可調(diào)范圍開關(guān)

壓電傳感器顯著的一個特點就是測試范圍狠寬。由於同傳感器工作,，需要使用可調(diào)范圍開關(guān)的電荷放大器,。例如在測試幾個N和kN的力學(xué)特性。放大器 5034 和5039外接控制測試范圍的開關(guān),。在測試過程中,，通過開關(guān)信號，測試范圍被選擇,。

 多通道電荷放大器

使用一定數(shù)量的傳感器進(jìn)行測試,，需要使用多達(dá)3通道的調(diào)製多通道放大器。壓電傳感器可以并聯(lián)使用,。一個典型應(yīng)用是確定在機械加工過程中對盤子的應(yīng)力,。盤子被4個傳感器腳支撐，每個傳感器獨立的電荷信號被合併在起到輸入放大器通道,。

 后板安裝

電荷放大器 5058被設(shè)計成Euro卡模式,，能被安裝在后面板或開關(guān)盒中?？梢愿鶕?jù)不同的測試系統(tǒng)被從新設(shè)計,。

外接驅(qū)動

對於重置／操作或調(diào)節(jié)范圍開關(guān)的輸入控制能直接連接到任何機器控制系統(tǒng)。所有工業(yè)放大器能通過TTL信號或光耦合器被操作,。在無電隔離的驅(qū)動使用簡單的開關(guān)同樣可以,。工業(yè)電荷放大器的電源是24V DC，電流小於100mA,。

 控制監(jiān)視器

當(dāng)今,，生產(chǎn)過程必須不斷的使用監(jiān)視器保證產(chǎn)品質(zhì)量。由此,，量測信號可以通過PLC評估或是直接聚焦到測試地點以便提供測試參數(shù),。可程控Kistler 監(jiān)控器通過測試信號直接測試區(qū)分符合和不符合的部分,。這減輕了電腦的PLC的工作,。電荷放大器被集成到監(jiān)控器內(nèi)。而且,，能直接從傳感器獲得測試信號,，并作一個函數(shù)顯示測試信號。